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        复合式分子泵是涡轮分子泵与牵引分子泵的串联组合,集两种泵的优点于一体。泵在很宽的压力范围内 ((10-6 ~ 1Pa) 具有较大的抽速和较高的压缩比,大大提高了泵的出口压力。法国 Alcatle 公司生产的一种采用气体静承和动密封的复合分子泵,可以做到完全无油,且不用前级泵直接向大气中排气。









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Pfeiffer普发TMH071P机械泵保养,Pfeiffer TMH071YP/TMU071P普发涡轮分子泵应用于氦质谱检漏仪及小型分子泵组中,进气法兰口DN63 ISO-KF/DN63 CF-F,出气法兰口DN16ISO-KF,抽速可达到60L/s, 转速为90000rpm, 对应的控制器为TC600

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